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RF電源維修MKS ENI RFOEM－28B射頻電源維修

發(fā)布者：伺服驅(qū)動(dòng)器維修部來(lái)源：上海仰光電子科技有限公司發(fā)布時(shí)間：2021-5-24

RF電源維修MKS ENI RFOEM－28B射頻電源維修找上海仰光電子工業(yè)自動(dòng)化有保障，經(jīng)驗(yàn)豐富，價(jià)格優(yōu)惠，效率高。我司維修涉及行業(yè)有半導(dǎo)體制造設(shè)備、光伏太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備電源、公司擁有維修工程師團(tuán)隊(duì)，對(duì)各種大功率開(kāi)關(guān)電源、美國(guó)AE電源、RF射頻電源、高頻電源、高壓電源、交流可編程電源等有深厚的維修功底和豐富的維修經(jīng)營(yíng)。專業(yè)射頻電源匹配器維修型號(hào)OEM-6A-11491-51 品牌 ENI

上海仰光電子有限公司專業(yè)維修高壓電源，RF射頻電源、多路輸出電源、升壓器、電子負(fù)載、電子整流器、燈絲電源、汞燈電源、X-RAY電源供應(yīng)器、激光電源控制器，激光電源發(fā)生器。

上海仰光電子有限公司專業(yè)維修電路板，工業(yè)電源，驅(qū)動(dòng)器，半導(dǎo)體設(shè)備，對(duì)AMAT應(yīng)用材料設(shè)備PARTS有豐富維修經(jīng)驗(yàn)，具體如下：

維修型號(hào)：
DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10
ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601P
OEM Series:OEM-6 OEM-6A OEM-6B OEM-12 OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25A
OEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RF
Spectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513
Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013
GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040
GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040
NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A
RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HF
Quanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2
oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)
000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-077R

專業(yè)射頻電源研發(fā)和第三方維修供應(yīng)商，是國(guó)內(nèi)早從事工業(yè)電源維修的企業(yè)。

服務(wù)范圍：

從事大功率射頻RF電源研發(fā)&第三方維修供應(yīng)商，為太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)研發(fā)和維修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

服務(wù)優(yōu)勢(shì)：

擁有一批專業(yè)技術(shù)人才，進(jìn)口品牌射頻電源工程技術(shù)支持，消化吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上創(chuàng)新發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師。擁有自主開(kāi)發(fā)的專業(yè)配套射頻電源測(cè)試平臺(tái)，高壓電源測(cè)試負(fù)載，直流電源測(cè)試負(fù)載，測(cè)試儀器設(shè)備，以及豐富的圖紙技術(shù)資料。

服務(wù)品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。

電源維修

專業(yè)維修半導(dǎo)體設(shè)備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、

射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業(yè)設(shè)備維修。

Thermo Chiller維修

溫度控制泵浦，設(shè)備冷卻系統(tǒng)，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、MKS ENI射頻電源/直流電源

3、DAIHEN射頻電源

4、KYOSAN射頻電源/直流電源

5、COMDEL射頻電源

6、ADTEC射頻電源

7、SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網(wǎng)絡(luò))

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、HiTek Power supply高壓電源

2、ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

4、GLASSMAN高壓電源

5、SPELLMAN高壓電源

6、Varian高壓電源

7、其他品牌

四、直流電源

1、LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、SORENSEN直流電源

4、AMETEK可編程電源

5、POWER TEN直流電源

6、燈絲電源、X射線電源

7、曝光燈電源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波電源發(fā)生器

1、ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、ASTeX Smart Match

六、RPSC

MKS 2L

MKS 3L

MKS 6L

MKS 8L

MKS 15L

MKS 22L

七、CHILLER溫度控制泵浦

SMC INR-341-16A

SMC INR-498-011

SMC INR-244-215

SMC-INR-244-117A

轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處：上海仰光電子科技專業(yè)伺服驅(qū)動(dòng)器維修,伺服電機(jī)維修http://www.kfwktyr.com.cn/weixiu/weixiu3172.htm
【我們確�？梢孕藓脺y(cè)試好給客戶�。。�！】 伺服驅(qū)動(dòng)器維修,伺服電機(jī)維修,變頻器維修
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電話：021-50157782
手機(jī)：15800396882
郵箱：shygdzi@163.com
聯(lián)系人：張工
網(wǎng)址：http://www.kfwktyr.com.cn/
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